EUV/XUV波前傳感器又稱Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射),緊湊結構,可以實現(xiàn)光化性能檢測,包括EUVL等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束,實時光學調整。
更新時間:2025-12-11
廠商性質:代理商
Shack-Hartmann 波前傳感器/波前分析儀是專用于激光束性能的綜合表征,對激光輻射傳播行為預測以及光束質量因子M²的確定,從同時記錄強度和相位分布光束質量可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計算沿光束路徑的任何位置,特別是焦平面。
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